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供应Aerotech ABL系列气浮平台

供应Aerotech ABL系列气浮平台

ABL系列定位平台优点:?几何性能***的气浮导轨?1.2mx1.2m的行程?光柵尺或激光回馈干涉仪?亚微米定位精度

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  • 供货总量: 90台
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  • 直线电机,直流驱动器,力矩电机,音圈电机

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    北京 丰台区 北京市丰台区南四环西路186号一区1号楼6层50-51室
产品特性:气浮平台是否进口:否产地:美国
加工定制:是品牌:Aerotech型号:ABL1500
订货号:ABL货号:ABL1500产品认证:CE
速度响应频率:200KHz适用电机:Aerotech直线电机

供应Aerotech ABL系列气浮平台详细介绍

    Aerotech ABL系列气浮轴承直驱直线运动平台,拥有***精度的定位功能,精度在0.2~0.5um之间。

设计特点

  • 专为高性能扫描和检查而设计

  • 所有空气轴承表面上的有效空气预载

  • 线性编码器反馈提供亚纳米分辨率

  • 高刚性,可承受重载,并具有***几何性能

  • 行程达500毫米

前沿制造业,特别是在半导体和数据存储行业中,要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承台具有完全主动的预紧力,极高的刚度和***几何特性,专门为满足这些需求而设计。

空气轴承设计,实现高动态性能

ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外,这种设计还可以使平台具有***刚度,非常适合重载或偏载。

***制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应,可限度地提高性能。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生***螺距,滚动,偏航,直线度和平坦度规格。

直线电机驱动

此阶段的驱动力是AerotechBLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力,这意味着零齿槽效应和无吸引力,从而实现了***的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度,代表了功率和性能的结合。

零维护

我们的完全非接触式空气轴承,非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的高性能水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触,所以随着时间的流逝,ABL1500不会遭受磨损或性能下降。使用寿命几乎是***的,并且由于没有润滑-只有清洁,干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。

电缆管理

我们精心优化电缆弯曲半径,以确保多年无故障运行。万一发生故障,Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便,停机时间最少。我们将所有客户要求的电缆,空气软管等都包含在CMS捆绑包中,以便于集成到最终系统中。两端完全连接,可轻松集成到客户的机器中。

技术指标

机械规格

模型

ABL1500-050

ABL1500-100

ABL1500-200

旅行

50毫米

100毫米

200毫米

准确性1

E1

已校准

±0.3微米

±0.3微米

±0.5微米

标准

±2.0微米

±4.0微米

±8.0微米

E3

已校准

±0.2微米

±0.2微米

±0.4微米

标准

±1.0微米

±2.0微米

±5.0微米

重复性

(双向)1

E1

±0.1微米

±0.2微米

E3

±0.05微米

±0.05微米

±0.1微米

直线度1

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

平面度1

±0.25微米

±0.4微米

±0.5微米

沥青

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

偏航

±0.5弧秒

±1弧秒

±2弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空载)

力(连续)

93.6 N

载重量2

卧式

35公斤

25公斤

运营压力

80 psi±5 psig

耗气量

24-30 SLPM @ 551 kPa0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移动质量(空载)

5.1公斤

舞台质量

14.7公斤

16.0公斤

18.6公斤

材料

MTBF(平均无故障时间)

30,000小时

  • 通过每个阶段的认证。

  • 列出了轴上加载的轴方向。

  • 规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用,请咨询工厂。

  • 为了防止空气轴承承受负压,建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。

  • 供气必须清洁,干燥至0°F露点并过滤至0.25 ?m或更高;建议使用纯度为99.9%的氮气。

  • 对于XY配置,上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm,则需要ABL1500WB作为下轴。

模型

ABL1500-300

ABL1500-400

ABL1500-500

旅行

300毫米

400毫米

500毫米

准确性1

E1

已校准

±0.5微米

±0.6微米

±0.6微米

标准

±12.0微米

±16.0微米

±20.0微米

E3

已校准

±0.4微米

±0.5微米

±0.5微米

标准

±5.0微米

±5.0微米

±5.0微米

重复性

(双向)1

E1

±0.2微米

±0.3微米

E3

±0.15微米

±0.2微米

直线度1

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

平面度1

±0.75微米

±1.5微米

±2.0微米

沥青

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

偏航

±3弧秒

±4弧秒

±5弧秒

速度

2 m /

加速度

2克(空载)

力(连续)

93.6 N

载重量2

卧式

35公斤

25公斤

运营压力

80 psi±5 psig

耗气量

24-30 SLPM @ 551 kPa0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴)

移动质量(空载)

5.1公斤

舞台质量

21.3公斤

23.9公斤

26.5公斤

材料

MTBF(平均无故障时间)

30,000小时

  • 通过每个阶段的认证。

  • 列出了轴上加载的轴方向。

  • 规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用,请咨询工厂。

  • 为了防止空气轴承承受负压,建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。

  • 供气必须清洁,干燥至0°F露点并过滤至0.25 ?m或更高;建议使用纯度为99.9%的氮气。

  • 对于XY配置,上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm,则需要ABL1500WB作为下轴。

ABL系列定位平台优点:

?几何性能***的气浮导轨

?1.2 m x 1.2 m 的行程

?光柵尺或激光回馈干涉仪

?亚微米定位精度

?XY 和 XYZ 集成系统

?无槽直接驱动电动机

同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台,比如 pro系列,ANT95系列等等。

更多产品信息请联系销售工程师:于工 18510085666

QQ:2799935409




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