| 产品特性：真空下使用 | 品牌：雷尼绍RENISHAW | 型号：UHV |
| 分辨率：0.1UM | 应用领域：***/航天 | 种类：1000000486 |
***真空 (UHV) 光栅，真空光栅包括真空圆光栅和真空直线光栅尺，
UHV产品特征如下：
– RESOLUTE UHV是***适合在UHV环境下使用的值真空式光栅
– 由真空兼容材料和粘合剂制成，出气率低
– 残余气体分析 (RGA) 经验证不会污染真空环境
– 120 °C烘焙温度
– 非接触开放式光学系统提供高速、可靠的操作，摩擦和磨损均为零
– 具备工业标准的模拟和数字输出，分辨率达1 nm
– 电耗低、发热小
– 无气密孔
– 自适应电路可提供高性能、长期可靠性和低电子细分
误差 (SDE)（RESOLUTE UHV为±40 nm，TONiC UHV为±30 nm，RGH25F UHV和
RGH20F UHV为±50 nm)
– UHV兼容电缆
– TONiC UHV光栅具有光学参考零位
– 高精度直线光栅和圆光栅系列
RESOLUTE UHV、TONiC UHV、RGH25F
UHV和RGH20F UHV读数头
雷尼绍***真空 (UHV) 兼容光栅系列中的所有产品都经过专门设计，用于各种科学、半导体
和其他***工业应用场合，真空压力达10-11 Torr。其基本工作原理与我们的同类标准大气压下的产
品相同，但是UHV光栅在设计上消除气密孔，并且由洁净的真空兼容材料和粘合剂***而成。产
品在UHV环境下的适用性已获得独立的专业检验站鉴定，包括残留气体分析 (RGA) 光谱测试。
该系列包括RESOLUTE、TONiC、RGH25F和RGH20F读数头，以及各种直线光栅和圆光
栅，提供优异的性能和高可靠性。
RESOLUTE UHV采用真正意义上的式光栅工作原理，与RESOLUTE系列的其他产品相
同。因此光栅具备小栅距性能，并且安装公差大，内在安全性高。RESOLUTE开启后立即确定
位置，减少非受控运动，并且有助于执行完整的轴命令，无需返回基准位置或者“开启并晃
动”。RESOLUTE的分辨率为1 nm，电子细分误差 (SDE) 为±40 nm，RMS噪音<10 nm，同时也
帮助用户***提高性能。
该系列中的所有增量式读数头都包含动态信号调整功能，其中自动增益控制 (AGC) 有助于长
时间内获取稳定可靠的信号，而自动偏置量控制 (AOC) 则有助于提高信号保真度。AOC和光栅的
低位置噪声也有助于降低直驱系统的速度波动，从而在程度上帮助减少真空条件下电机中积
聚的热量。
通过直线测量标准确保了高精度，其中包括自贴式钢带栅尺、不锈钢和ZeroMet栅尺选项。圆
光栅选项包括轻薄小巧的RESR / RESM和***精度的REXM圆栅，***度***优于±1角秒。
